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マイクロマシン技術総覧

【発刊の趣旨】

■マイクロマシンに関係する研究開発は飛躍的に拡大して技術の蓄積がなされ、実用化も着実に進んできております。特に光学機器やバイオ機器関係では不可欠な要素技術として急速な発展が見えてきています。また、マイクロからナノの領域への挑戦が各分野でも始まってきており、これまでの進歩の過程および最新のナノテクノロジーの紹介を含めてまとめています。

 マイクロマシン関係の基礎、微細加工技術、要素などの最近の研究開発と成果、製品化の応用事例、特にナノテクノロジー関連における最新の研究動向を全編に組み入れており、マイクロ・ナノ関連の新しい分野で開発・計画に携わる技術者にとって普遍的な技術の書として有益です。

【判型】B5
【頁数】750頁
【価格】\47,000+(消費税)


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目次概要
第Ⅰ編 基礎編
第1章 マイクロ理工学
 第1節 相似則
 第2節 マイクロ機械力学
 第3節 マイクロマテリアルとマイクロ材料力学
 第4節 マイクロ流体力学
 第5節 マイクロ伝熱工学
 第6節 電磁気現象における寸法効果
 第7節 マイクロトライボロジー
第2章 マイクロ材料
 第1節 シリコン
 第2節 光硬化ポリマー
 第3節 機能性ポリマー
 第4節 ガラス
 第5節 超塑性材料
 第6節 圧電材料
 第7節 磁歪
 第8節 形状記憶合金(SMA)
 第9節 ゲル
 第10節 セラミックス
 第11節 金属
 第12節 カーボンナノチューブ
 第13節 エレクトロレオロジー流体

第Ⅱ編 微細加工技術
第1章 機械加工
 第1節 マイクロ切削加工
 第2節 マイクロ穴加工
 第3節 超精密・マイクロ切削加工
 第4節 マイクロ研削加工
 第5節 マイクロ塑性加工
 第6節 マイクロブラスト加工
 第7節 マイクロ射出成形加工
 第8節 メタルジェット加工
第2章マイクロ電気加工・ビーム加工
 第1節 マイクロ放電加工
 第2節 電子ビーム加工
 第3節 イオンビーム加工
 第4節 YAGレーザによるマイクロ加工
 第5節 エキシマレーザによるマイクロ加工
 第6節 レーザマイクロジェット加工
第3章 エッチング
 第1節 湿式エッチング
 第2節 ドライエッチング
第4章 PVD,CVD
 第1節 真空蒸着法
 第2節 スパッタリング法
 第3節 イオンプレーティング法
 第4節 プラズマCVD
第5章 LIGAプロセス
 第1節 シンクロトロン放射光
 第2節 LIGAプロセスによるマイクロ加工
第6章 マイクロ光造形
 第1節 光造形
 第2節 光造形によるマイクロ加工

第Ⅲ編 マイクロマシンの要素
第1章 総  論
第2章 マイクロメカニズム 伝達,締結,保持要素
 第1節 微小歯車
 第2節 軸受
 第3節 ばね
 第4節 セラミック・マイクロコイル
 第5節 ナノマシンの要素
第3章 マイクロアクチュエータ
 第1節 圧電アクチュエータ
 第2節 磁歪アクチュエータ
 第3節 静電アクチュエータ
 第4節 超音波アクチュエータ
 第5節 高分子アクチュエータ
 第6節 マイクロ流体アクチュエータ
 第7節 機能性流体アクチュエータ
 第8節 光アクチュエータ
 第9節 気液相変化アクチュエータ
第4章 マイクロマニピュレーション
 第1節 レーザトラッピング
 第2節 ニアフィールドアクチュエーション
 第3節 音場
 第4節 静電界
 第5節 磁界
第5章 マイクロ計測
 第1節 微小部品の形状・寸法測定
 第2節 トルク・摩擦
 第3節 摩擦
 第4節 熱
 第5節 凝着・固着力
 第6節 微小流体計測
第Ⅳ編 マイクロマシン応用例
<<マイクロアクチュエータの応用>>
 1. 圧電アクチュエータ
 2. 圧電素子を用いたマイクロロボット
 3. 近距離場音波浮揚現象とその応用
 4. 超音波モータのマイクロメカニズムへの応用
 5. 静電アクチュエータの応用例
 6. 集積化静電モータ
 7. 水熱合成法圧電膜利用システム
 8. マイクロ電磁モータ
 9. 形状記憶合金アクチュエータを用いた能動内視鏡
 10. 形状記憶合金の特性
 11. 形状記憶合金を使ったマイクロアクチュエータ
 12. 形状記憶合金のファイバスコープへの応用
 13. 光アクチュエータ
 14. レーザトラッピングを応用した単一ナノ粒子の配列,固定化
 15. レーザトラッピングを応用した細胞の自動分離技術
 16. 高分子ゲル
 17. 振動ジャイロ
 18. 弾性表面波利用マイクロシステム
<<マイクロ要素・デバイス>>
 1. マイクロバルブ
 2. マイクロポンプ
 3. 浸透圧ポンプ
 4. マイクロ流体デバイス
 5. マイクロ化学リアクタ
 6. μTAS
 7. 腕時計におけるエネルギー変換・貯蔵デバイス
 8. インクジェットヘッド
 9. ばね
10. 歯車機構
<<マイクロセンサデバイス>>
1. 機械量・圧力センサ
2. 加速度センサ
3. マイクロ光センサデバイス
4. マイクロバイオセンサデバイス
5. 医用センサアクチュエータ
<<マイクロシステム>>
1. マニピュレータ
2. 細胞操作用マイクロマニピュレータ
3. 超小型の移動機械(マイクロロボット)
4. フレキシブルマイクロロボット
5. 医療用マイクロマシン
6. ゲノム分野への応用
7. 多数分散型マイクロマシンシステム
8. マイクロファクトリ
<<その他>>
1. マイクロデバイスを用いた熱流体現象のアクティブ制御
2. 放電加工
3. 超精密位置決め・アライメントシステム
「マイクロマシン技術総覧」編集委員会
【編集委員長】(50音順)
樋口 俊郎 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 教授 工学博士
【編集委員】(50音順)
青山 尚之 電気通信大学 電気通信学部 知能機械工学科 教授 工学博士
生田 幸士 名古屋大学 大学院工学研究科 マイクロシステム工学専攻 教授 工学博士
北原 時雄 湘南工科大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士
鈴森 康一 岡山大学 工学部 システム工学科 教授 工学博士
藤井 定美 三栄理研㈱ (元)代表取締役社長
【執筆者】(50音順)
青木  勇 神奈川大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士
青山 尚之 電気通信大学 電気通信学部 知能機械工学科 教授 工学博士
安積 欣志 産業技術総合研究所 関西センター 人間系特別研究体 刺激応答材料研究グループ 理学博士
芦田  極 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 ファインファクトリー研究グループ 研究員 工学博士
跡部 光朗 セイコーエプソン㈱ 生産技術開発部 部長 
荒井 賢一 東北大学 電気通信研究所 教授 工学博士
荒谷  雄 ㈱レーザックス 技術顧問 工学博士
安藤 泰久 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 トライボロジー研究グループ 主任研究官 工学博士
生田 幸士 名古屋大学 大学院工学研究科 マイクロシステム工学専攻 教授 工学博士
伊澤 守康 新東ブレーター㈱ 開発部門 装置プロセス開発 参与 
石川 雄一 産業技術総合研究所 技術情報部門 産業安全特別調査室 室長 工学博士
石山 和志 東北大学 電気通信研究所 助手 工学博士
磯野 吉正 立命館大学 理工学部 機械工学科 助教授 工学博士
一木 正聡 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 集積機械研究グループ 主任研究員 理学博士
伊都 将司 大阪大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻
伊藤 弘孝 三菱電線工業㈱ 総合研究所 所長 工学博士
岩永  浩 長崎大学 工学部 材料工学科 教授 理学博士
上羽 貞行 東京工業大学 精密工学研究所 教授,所長 工学博士
柄川  索 ㈱日立製作所 機械研究所 知能メカトロニクス研究センタ  
江刺 正喜 東北大学 未来科学技術共同センター 教授 工学博士
江田  弘 茨城大学 工学部 システム工学科 教授 工学博士
太田  亮 オリンパス光学工業㈱ 立野事業所 
大中 逸雄 大阪大学 大学院工学研究科 知能・機能創成工学専攻 教授 工学博士
大森  整 理化学研究所 中央研究所 素形材工学研究室 主任研究員
小笠原直人 シチズン時計㈱ デバイス事業統括本部 マイクロテックセンター 副センター長 
尾崎 浩一 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 微小機構研究グループ 工学博士
長田 義仁 北海道大学 大学院理学研究科 生物科学専攻 教授 理学博士
笠木 伸英 東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻 教授
春日 政雄 セイコーインスツルメンツ㈱ ・デベロップメントセンター ・開発総括部 ・開発戦略部 ・部長
加藤 重雄 日本工業大学 工学部 システム工学科 教授 工学博士
金子 大作 北海道大学 大学院理学研究科 生物化学専攻 博士後期課程3年  
蒲生 健次 大阪大学 大学院基礎工学研究科 教授 工学博士 
軽部 征夫 東京大学 先端科学技術センター 教授 工学博士
河田  聡 大阪大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻 教授,理学研究所 ナノフォトニクス研究室 主任研究員 工学博士
川田 善正 静岡大学 工学部 機械工学科 助教授 工学博士
北原 時雄 湘南工科大学 工学部 機械工学科 教授 工学博士
工藤 謙一 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 助手 
工藤 成史 桐蔭横浜大学 工学部 知能機械工学科 教授 工学博士
栗林 勝利 山口東京理科大学 基礎工学部 電子情報工学科 教授 工学博士
黒澤  実 東京工業大学 大学院総合理工学研究科 電子機能システム専攻 助教授 工学博士
桑野 博喜 NTT サイバーソリューション研究所 担当部長 工学博士
早乙女康典 群馬大学 工学部 機械システム工学科 助教授 工学博士
佐藤 節哉 エレクトロン機器㈱ 代表取締役
芝池 成人 新エネルギー財団 計画本部 工学博士
柴野 恒雄 カトウスプリング㈱ 取締役工場長 
周  立波 茨城大学 工学部 システム工学科 助教授 工学博士
庄子 習一 早稲田大学 理工学部 電子・情報通信学科 教授 工学博士
杉本 真樹 新東ブレーター㈱ 開発部門 装置開発グループ
杉山  進 立命館大学 理工学部 ロボティクス学科 教授 工学博士
鈴木 健司 東京大学 大学院工学系研究科 産業機械工学専攻 講師 工学博士
鈴木 雄二 東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻 助教授 工学博士
鈴森 康一 岡山大学 工学部 システム工学科 教授 工学博士
武田 幸三 東レ・プレシジョン㈱ 技術部 取締役部長 
武田 宗久 三菱電機㈱ 先端技術総合研究所 センシング技術部 マイクロ実装グループ グループマネージャー
竹中  正 東京理科大学 理工学部 電気電子情報工学科 教授 工学博士
田所  諭 神戸大学 工学部 情報知能工学科 助教授 工学博士
田中 克史 京都工芸繊維大学 繊維学部 高分子学科 助教授 工学博士
田中 真美 東北大学 大学院工学研究科 機械電子工学専攻 助教授 工学博士
谷川 民生 産業技術総合研究所 ・知能システム研究部門 ・技能・力学研究グループ ・主任研究員 ・工学博士
谷口  淳 東京理科大学 基礎工学科 電子応用工学科 助手
長南 征二 東北大学 大学院工学研究科 機械電子工学専攻 教授 工学博士
坪井 昭彦 ㈱ファインプロセス 代表取締役 
富川 義朗 山形大学 工学部 電気電子工学科 教授 工学博士
鳥井 昭宏 愛知工業大学 工学部 電気工学科 助教授 工学博士
鳥居  徹 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 助教授 農学博士
鳥山 寿之 新エネルギー・産業技術総合開発機構 産業技術養成技術者 工学博士
中尾 政之 東京大学 大学院工学系研究科 産業機械工学専攻 教授 工学博士
長倉 俊明 大阪電気通信大学 工学部 医療福祉工学科 教授 
中田  毅 東京電機大学 情報環境学部 情報環境デザイン学科 教授 工学博士
中別府 修 東京工業大学 大学院理工学研究科 機械物理工学専攻 助教授 博士(工学)
中山 喜萬 大阪府立大学 大学院工学研究科 電気・情報系専攻 教授 工学博士
成瀬 好廣 ㈱アイシン・コスモス研究所 取締役 
西野 耕一 横浜国立大学 大学院工学研究院 システムの創成部門 助教授 工学博士
畑村洋太郎 東京大学 大学院工学系研究科 産業機械工学専攻 教授 工学博士
馬場 嘉信 徳島大学 薬学部 製薬化学科 教授 理学博士
樋口 俊郎 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 教授 工学博士
久本  方 久本技術士事務所 所長 工学博士 技術士
平井 利博 信州大学 繊維学部 素材開発化学科 教授 工学博士
平塚 淳典 松下電器産業㈱ くらし開発環境センター 工学博士
深井  卓 ナイス㈱ 技術部門 技術グループ 工学博士
福井 茂壽 鳥取大学 工学部 応用数理工学科 教授 工学博士
藤井 定美 三栄理研㈱ (元)代表取締役社長 
藤田 博之 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター 教授,センター長 工学博士
布田 良明 トーキンセラミクス㈱ 第一商品開発部 担当部長 
保坂  寛 東京大学 大学院新領域創成科学研究科 環境学専攻 教授 工学博士
細川 和生 理化学研究所 バイオ工学研究室 工学博士
細川陽一郎 大阪大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻
本間  大 トキ・コーポレーション㈱ 研究開発部 部長 工学博士
正木  健 松下電器産業㈱ 生産技術本部 生産コア技術研究所 主席技師 
増沢 隆久 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター 教授 工学博士
増原  宏 大阪大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻 教授 工学博士
松田 信一 富士写真光機㈱ 企商部 担当部長
松本 壮平 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 主任研究員 工学博士
丸谷 洋二 大阪産業大学 工学部 情報システム工学科 教授 工学博士
三井 公之 慶応義塾大学 理工学部 機械工学科 教授 工学博士
箕島 弘二 京都大学 大学院工学研究科 機械工学専攻 助教授 工学博士
宮本 岩男 東京理科大学 基礎工学部 電子応用工学科 教授 工学博士
元島 栖二 岐阜大学 工学部 応用化学科 教授 工学博士
森谷  卓 シチズン時計㈱ MHT開発本部・基盤応用開発室 専門課長 
安田 賢二 東京大学 大学院総合文化研究科 広域科学専攻 助教授 理学博士
安田 秀幸 大阪大学 大学院工学研究科 知能・機能創成工学専攻 助教授 工学博士
山形  豊 理化学研究所 中央研究所 素形材工学研究室 先任研究員 工学博士
山口 勝美 名古屋大学名誉教授 工学博士
山本 晃生 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻 講師 工学博士
横田 眞一 東京工業大学 精密工学研究所 教授 工学博士
鷲津 正夫 東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻 教授 工学博士
※所属・役職は発刊当時のものです
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